아르곤-산소 플라즈마 쉬스 경계 이온 속도 분포 변화에 미치는 이온-중성입자 충돌성 연구

2025.06.02 13:49

pal_webmaster 조회 수:49

학회명 한국반도체디스플레이기술학회 
연도 2025 
수상자 배남재 
상명 우수논문상 

2025 한국반도체디스플레이기술학회 배남재 우수논문상

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한국반도체디스플레이기술학회  2025  우수논문상  배남재  아르곤-산소 플라즈마 쉬스 경계 이온 속도 분포 변화에 미치는 이온-중성입자 충돌성 연구
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